典型的于式真空系統(tǒng)（見圖1）由SIHldry，凈化氣體模塊、吸入管線模塊（可選）、冷卻水循環(huán)模塊、氣體冷卻模塊、驅(qū)動(dòng)控制柜組成。模塊化設(shè)計(jì)的靈活性可以使SIHIdry 應(yīng)用于所有流程，尤其對于吸入壓力達(dá)1Pa以下， 處理介質(zhì)為含水分和灰塵、腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體等工況尤為合適，在化工、制藥、電子等需要潔凈真空的行業(yè)有廣泛的 應(yīng)用。所有必需的元件可以集成在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的系統(tǒng)中，丌位于泵內(nèi)、通過內(nèi)部冷卻水回路，可以精確地控制內(nèi)部溫度，從而防止介質(zhì)的冷凝、結(jié)晶和溶液的燃燒。 完全 安裝好的電氣和機(jī)械界面非常友好，驅(qū)動(dòng)和控制可以完全集成在標(biāo)準(zhǔn)的機(jī)組中。各種不同的界面可以添加到已有的系統(tǒng)和流程中；驅(qū)動(dòng)控制可以保護(hù)機(jī)器以防應(yīng)用巾的故障—例如，當(dāng)輸送含液體的介質(zhì)時(shí)，泵的速度可以 自動(dòng)減少以輸送該介質(zhì)。當(dāng)不含液體時(shí)，泵的速度將回歸到設(shè)定值。這同樣適用于輸送固體和粉末的場合。LCD顯示器可以給十轉(zhuǎn)子的沉積物和沖洗的效果。 如圖2所示，SIHIdry的基本設(shè)計(jì)包括FEP O形圈的殼體密封及以下元件：
�。�1）在殼體內(nèi)的變頻驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。
�。�2）用于冷卻泵殼、驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)及雙螺桿的冷卻水回路。
（3）防上有害顆粒進(jìn)入泵內(nèi)的吸入口過濾
1.氣體凈化模塊EX
標(biāo)準(zhǔn)的EExP氣體凈化系統(tǒng)用來調(diào)節(jié)、控制與監(jiān)測軸封處的惰性氣體N2的壓力，使系統(tǒng)符合ATEX防爆條例的要求而町以安裝在危險(xiǎn)區(qū)域。該系統(tǒng)町集成在機(jī)組中并可以設(shè)置相關(guān) 參數(shù)。 2.吸入管線模塊（可選）
在需要的時(shí)候，該模塊可將泵與流程隔離。例如，當(dāng)泵達(dá)到預(yù)定的溫度，或超過有機(jī)介質(zhì)（T4）的最大溫度極限時(shí)， 町自動(dòng)切斷該流程，這種控制通過氣動(dòng)控制吸氣閥來實(shí)現(xiàn)，該吸氣閥完全集成在控制驅(qū)動(dòng)變量巾。同時(shí)，當(dāng)連接到共用的真空管路時(shí)，吸氣閥可以防止回流。
3.冷卻水循環(huán)模塊
該模塊配置有循環(huán)泵、 流量顯示器、增壓器調(diào)節(jié)閥、溫度控制閥與熱交換器，該模塊完全集成在共同的底板上。當(dāng)現(xiàn)場冷卻水進(jìn)出口的壓差非常低及現(xiàn)場水質(zhì)很差的時(shí)候，該模塊特別見效。該循環(huán)冷卻系統(tǒng)可以精確地調(diào)節(jié)，以全流量來有效地降溫，以零流量來有效地升溫。 4.氣體冷卻模塊
該系統(tǒng)讓泵腔排出的氣體，經(jīng)過熱交換器并將其中一小部分再送回泵腔。 使用這種方式進(jìn)行冷卻，冷卻的干空氣向雙螺桿的下一端進(jìn)行傳輸，不會(huì)影響進(jìn)氣口的吸氣能力。這樣町以在低的壓力下保證一定的流量，防止熱敏物質(zhì)的沉積。 5.驅(qū)動(dòng)控制柜
�。�1）該模塊可以安裝在機(jī)組上，適用于在Ex區(qū)域I，防護(hù)等級EEx-p。
�。�2）內(nèi)置的電動(dòng)機(jī)通過一個(gè)由變頻器、供電和控制模塊的單元進(jìn)行操作。
�。�3）電子驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)防止機(jī)械元件由于夾帶液體等原因引起的過載。
（4）泵的速度可以減小，防止超過最大的允許電動(dòng)機(jī)負(fù)荷。
�。�5）當(dāng)夾帶的液體去除后，恢復(fù)起始操作點(diǎn)。
�。�6）SIHIdry可以覆蓋吸入壓力和吸氣量的整個(gè) 范圍。該泵能在其 性能范圍的任何點(diǎn)操作。同時(shí)，還可以預(yù)先設(shè)定需要的操作曲線：變速操作允許最靈活的操作并減小能量消耗。 �。�7）該模塊可以測量真空系統(tǒng)中的不同的過程壓力。
�。�8）在選用了驅(qū)動(dòng)控制時(shí)，可以 使用操作顯示模塊，該模塊可以向操作人顯示SIHIdry參數(shù)，如速度、壓力、轉(zhuǎn)矩、溫度，可以簡單地使用按鈕控制，也可以使用LCD顯示。 另外，可提供PARA參數(shù)修正模塊。不是使用PLC程序，而是使用PARA軟件，能夠修正SIHIdry的特定參數(shù)，該參數(shù)由客戶決定，如溫度—亡下限、速度、壓力、設(shè)置、加熱循環(huán)等，為提供將來長期運(yùn)行的適用性，需要基于汁算機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)視窗。當(dāng)配置有遠(yuǎn)程診斷模塊，客戶能夠設(shè)定與檢查控制系統(tǒng)與參數(shù)，從而對泵進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。
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