正向排氣的鼓風(fēng)機(jī)可以同旋片泵串連使用，以在中等真空下得到比單獨(dú)使用旋片泵時(shí)有更大抽速和更低的極限壓強(qiáng)。羅茨泵，或羅
茨鼓風(fēng)機(jī)，由裝在兩根平行轉(zhuǎn)軸上的一對(duì)繭形轉(zhuǎn)子構(gòu)成。轉(zhuǎn)子自身之間和轉(zhuǎn)子同泵殼之間的游隙典型的約為0.2mm。兩個(gè)轉(zhuǎn)子以
3000rpm至3500rpm的轉(zhuǎn)速反向同步旋轉(zhuǎn)。由于轉(zhuǎn)子同泵殼之間的游隙不用油密封，所以這樣的轉(zhuǎn)速是可行的。
羅茨泵的壓縮比，或泵的進(jìn)氣口和出氣口壓強(qiáng)之比與壓強(qiáng)有關(guān)，通常其最大值100Pa接近。在較高的壓強(qiáng)下，泵的壓縮比較小，這是
由子游隙中的流導(dǎo)是隨壓強(qiáng)的升高而增加的。在較低的壓強(qiáng)下，從理論上講，壓縮比應(yīng)保持不變，但實(shí)際上卻是下降的，出氣和轉(zhuǎn)
子表面的粗糙度使得低壓強(qiáng)下的壓縮比有所損失。每當(dāng)轉(zhuǎn)子朝向高壓強(qiáng)側(cè)時(shí)，轉(zhuǎn)子表面就會(huì)吸附氣體，而當(dāng)轉(zhuǎn)子面向低壓強(qiáng)側(cè)時(shí)就
釋放出已吸附氣體中的一部分。其最大壓縮比為44。大J泵的壓縮比要比小型泵的高一些，因?yàn)榇笮捅玫挠蜗端伎臻g與泵容積之比
較小。象氮那樣的輕的氣體的壓縮比要比對(duì)空氣的壓縮比小15-20%。壓縮比是個(gè)靜態(tài)量，是在流量為零的條件下側(cè)得的。測(cè)量時(shí)，
泵的進(jìn)氣口是被封住的并接上一個(gè)壓強(qiáng)規(guī)，排氣口與一合粗抽泵相接，并對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行抽氣。將氣體放入羅茨泵與旋片泵連接的
前級(jí)管路內(nèi)，在羅茨泵排氣口處
側(cè)量壓強(qiáng)P(前級(jí)壓強(qiáng))，在進(jìn)氣口處測(cè)呈壓強(qiáng)P1。壓縮比由P/P1得出。
在高壓強(qiáng)下用羅茨泵排氣時(shí)會(huì)產(chǎn)生可觀的熱量，它會(huì)引起轉(zhuǎn)子膨脹，并可能損壞泵。為避免過熱，規(guī)定了羅茨泵進(jìn)氣口和排氣口之
間的最大壓差。最大壓差一般為1000Pa，但短時(shí)間內(nèi)超過此值不致造成泵的損壞。為避免發(fā)熱，羅茨泵按壓縮泵或傳輸泵方式連接。
在較常見的壓縮排氣的方式中，羅茨泵與旋片泵串聯(lián)使用，旋片泵的額定抽速比羅茨泵抽速低5至10倍。當(dāng)從大氣壓開始抽氣時(shí)，應(yīng)
打開繞過羅茨泵的旁路管道或者讓羅茨泵空轉(zhuǎn)。此時(shí)全部抽氣作用由機(jī)械泵承當(dāng)，直到前級(jí)壓強(qiáng)低于制造廠推薦的壓差時(shí)，再啟動(dòng)
羅茨泵并關(guān)閉旁路閥門。某些羅茨泵的泵體上就設(shè)有這種旁路特性。
|
