①被抽容器 在具體真空應(yīng)用設(shè)備上統(tǒng)稱(chēng)為真空室,沒(méi)有真空室則不能組成真空系統(tǒng),只能稱(chēng)為真空機(jī)組。
②抽氣設(shè)備 各種類(lèi)型真空泵.
③測(cè)量裝置 各種類(lèi)型真空測(cè)量?jī)x器。
④其他元件 真空管道、閥門(mén)、捕集器、法蘭、接頭、波紋管、貯氣罐、除塵器、繼電器等。
根據(jù)不同的工藝需要,采用不同的上述各種真空元件.組成具體實(shí)用的真空系統(tǒng).