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真空機(jī)組中前級泵和預(yù)抽泵的配置

真空機(jī)組中前級泵和預(yù)抽泵的選擇是非常重要的,錯誤的選擇會影響整個工作的流程,甚至?xí)斐珊艽蟮慕?jīng)濟(jì)損失。

配前級泵

前級泵直接影響主泵性能,影響真空系統(tǒng)的抽氣時間和經(jīng)濟(jì)效益。在真空系統(tǒng)中氣體處于穩(wěn)定流動狀態(tài)時,則整個管路上任意截面的氣流最是相等的。故管路上串聯(lián)的各泵在單位時間內(nèi)所抽走的氣體也是相等的。但是,管路系統(tǒng)各截面的氣壓并不相等,各截面的抽速也就不相同。因此,配前級泵的要求是

①保證始終及時地排出主泵所排出的氣體流量;

②在主泵出口處造成的壓強(qiáng)低于主泵的最大排氣壓強(qiáng);

③如果前級兼作預(yù)抽真空泵,則還要滿足預(yù)抽時間和預(yù)抽真空度的要求。

配預(yù)抽泵

有些主泵,如鈦泵和低溫泵之類,只需要預(yù)抽泵先抽到預(yù)備真空,然后就自己獨(dú)立工作,而不需要前級泵。這種系統(tǒng)的預(yù)抽泵抽速,是將真空室在(一般為10~15min)時間內(nèi)抽到所要求的預(yù)真空度的抽速。

另一些主泵,如擴(kuò)散泵和增壓泵,它們既需要前級泵,也需要預(yù)抽泵。這時,可將兩個抽速進(jìn)行比較,倘若預(yù)抽泵抽速不大于前級泵抽速,則前級泵可兼做預(yù)抽泵.不然,則需補(bǔ)設(shè)一臺預(yù)抽真空泵。這臺補(bǔ)設(shè)的預(yù)抽泵的抽速,為前述兩抽速之差。

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