目前真空技術(shù)所涉及的壓力范圍為105Pa~10-13Pa，這樣寬的壓力范圍是任何一種獲得真空的設(shè)備—真空泵都不能單獨(dú)實(shí)現(xiàn)的，因而需要用不同結(jié)構(gòu)的真空泵來實(shí)現(xiàn)。按工作原理分述幾類真空泵。
利用轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng)等機(jī)械運(yùn)動(dòng)獲得真空的泵叫機(jī)械真空泵，其可分為以下幾種:
(1)往復(fù)真空泵。它是借泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)，將氣體壓縮并排出的容變真空泵。極限真空度:單級(jí)約達(dá)103Pa;雙級(jí)約達(dá)10Pa。抽氣速率為45m3/h~20000m3/h.
(2)水環(huán)真空泵。它是利用水環(huán)旋轉(zhuǎn)變?nèi)莸恼婵毡谩O限真空度:單級(jí)約達(dá)103Pa;雙級(jí)約達(dá)102Pa。抽氣速率0.25m3/h~500m3/h。
(3)油封旋轉(zhuǎn)式真空泵。它是用油保持密封，靠旋轉(zhuǎn)的偏心凸輪在缸內(nèi)旋轉(zhuǎn)而抽氣的泵，包括定片真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵和余擺線真空泵。在氣相沉積技術(shù)中，旋片真空泵用得很多，極限真空度約達(dá)10-1Pa(單級(jí))和10-2Pa(雙級(jí))。抽氣速率為1L/s~500L/S。另外，也有采用滑閥真空泵，極限真空度約達(dá)l0Pa(單級(jí))和10-1Pa(雙級(jí))。抽氣速率1L/S~600L/s.
(4)羅茨真空泵。它是泵內(nèi)裝有兩個(gè)反向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間以及轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁都保持一定間隙的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡�。該泵�?02Pa~1Pa之間有較大的抽速，完全可以彌補(bǔ)旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵在此壓力范圍內(nèi)抽速不足的缺陷，在真空系統(tǒng)中起增壓作用，故又稱機(jī)械增壓泵。其極限真空度約達(dá)10-2Pa。抽氣速率為15L/s~40000L/s.羅茨泵不能單獨(dú)使用，必須和前級(jí)泵串聯(lián)使用。
(5)渦輪分子泵。它是一種機(jī)械高真空泵，裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子在定子對應(yīng)圓盤間旋轉(zhuǎn)，線速度轉(zhuǎn)動(dòng)的數(shù)量級(jí)與氣體分子相同，泵正常工作適于在分子流狀態(tài)下。極限真空度約達(dá)10-8Pa或更高，抽氣速率一般在5000L/s以下。
